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快捷的绝缘耐高温氧化锆陶瓷轴_氧化锆陶瓷轴价格

2023-11-12  来自: 东莞市砾石实业投资有限公司 浏览次数:39

东莞市砾石实业投资有限公司于2009-08-05在东莞市成立,是可靠从事氧化锆陶瓷轴等产品的进出口贸易的绝缘材料行业产品,为了更有效、快速的服务客户,砾石实业正逐步完善销售服务网络,在全国各地紧锣密鼓的设立服务站,力争使客户与砾石实业获得突出效益。

砾石实业进出口业务主要依托产业型公司的产品优势,在出口集团自有产品的基础上,为工业陶瓷使用人群提供集成式服务。东莞市砾石实业投资有限公司严格按照生产标准,以完善的管理体系,供应的氧化锆陶瓷轴质量;而且公司注重人才的开发与培养,因此能为工业陶瓷使用人群始终如一地提供良好的服务。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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