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如何选择绝缘耐高温氧化锆陶瓷轴|氧化锆陶瓷轴市场行情

2022-11-26  来自: 东莞市砾石实业投资有限公司 浏览次数:48

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东莞市砾石实业投资有限公司成立于2009-08-05,从创立初起,公司就立志做国内成熟氧化锆陶瓷轴供应商。本着“以质取胜,以客为尊”的宗旨,经过多年不懈努力,砾石实业已占有很高的市场份额,赢了广大工业陶瓷使用人群的支持和信任,在全国享有盛名。

砾石实业始终以市场为导向,供应的氧化锆陶瓷轴以精良的加工、完善的技术支持、良好的售后服务得到了广大工业陶瓷使用人群的赞许,同时我们还配备了有效的物流等工具,交货方式为完税后交货。本公司一贯坚持薄利多销、客户至上的宗旨,不断开拓创新,以质取胜,服务周到,以誉满纯贸易业。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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