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快捷的绝缘耐高温氧化锆陶瓷轴-氧化锆陶瓷轴价格行情

2021-01-26  来自: 东莞市砾石实业投资有限公司 浏览次数:210

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砾石实业本着“服务于客户”的原则,真诚为您服务。公司拥有的物流方式,来保证氧化锆陶瓷轴的进出口贸易。我公司的氧化锆陶瓷轴以繁多的种类、上乘的质量、实惠的价格、便捷的货期、完善的售后服务赢得了全国广阔的市场,并远销欧美,得到了广大用户支持和认可!

砾石实业作为一家综合型氧化锆陶瓷轴贸易公司,提供专业进出口代理服务。公司设立于2009-08-05,坐落在东城南路39号美居中心A栋4楼D-19室,目前主要从事氧化锆陶瓷轴供应。公司与多家客户建立了长期稳定的工作合作关系,是广东省的企业,在贸易方面具有深厚的积累和行业应用经验。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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