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东莞可信赖的铂金靶材_有口碑的加工提供商

2019-08-10  来自: 东莞市砾石实业投资有限公司 浏览次数:177

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客户至上,发展创新,在加工的整个服务周期内,砾石实业是采用以重量计费的方式来收取费用的,加工的产品质量好、出货快、价格合理,最大供应量可达1000pcs。公司用现代企业的管理方法,立足于产品的质量管理,加工以其出色的品质,新颖的设计,合理的价格,完善的售后服务赢得了广大化工行业的一致好评。

东莞市砾石实业投资有限公司坐落于东城南路39号美居中心A栋4楼D-19室,以建筑用粘合剂为导向,注重产品的高、精、尖,是一家专业从事加工的服务型公司。我公司属于有限责任公司,拥有先进的技术和设备,技术娴熟,以诚信为先,质量为本服务宗旨,在广东东莞、佛山、广州、深圳、中山、珠海地区被广大的客户所信赖。

东莞可信赖的铂金靶材,靶材的主要性能要求纯度纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”,8“发展到12”,而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。杂质含量靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。晶粒尺寸及晶粒尺寸分布通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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