高纯度稳定铜靶材

东莞市砾石实业投资有限公司成立于2009年，其前身为2003年成立的上海市砾石电子机械有限公司华南分公司，至今已拥有16年的工业陶瓷行业专业经验。主要经营：精密工业陶瓷板、棒、管材料；精密陶瓷零件及加工；锂电池铝塑包装膜，锂电池隔膜绝缘氧化铝陶瓷；特种有色金属材料铂、金、银、铜、钛、钼；各种高纯溅射合金靶材、陶瓷靶材、ITO、AZO、蒸发材料等。
 靶材分为三类：
（1） 金属靶材：如钨靶，钼靶，钽靶，铌靶，锆靶，钛靶，镍靶，铝靶，铜靶，铁靶，银靶等。
（2）合金靶材：如钛铝合金靶，铬铝合金靶，镍铬合金靶，钨钼合金靶，钽钨合金靶，钼铌 合金靶等。
（3） 陶瓷靶材：如氧化锌铝靶，氧化锌靶，氧化钛靶，硅铝靶，硫化镉靶等。
 铜靶材是真空镀膜行业溅射靶材中的一种，是高纯铜材料经过系列加工后的产品，具有特定的尺寸和形状高纯铜材料。由于高纯铜特别是超高纯铜具有许多优良的特性，目前已广泛应用于电子、通信、超导、航天等领域。
 铜靶材有平面铜靶材和旋转铜靶材之分。平面铜靶材是片状的，有圆形、方形等。旋转铜靶材是管状的，利用效率高，但不易加工，要通过高纯铜挤压、拉伸、校直、热处理，机加工等多种加工工序才能最终制得铜旋转靶材成品。
 铜靶材的缺点：高纯铜和铜合金因其高电迁移抗力和低电阻，被用作互连线材料。随着金属互连线的特征尺寸向纳米级方向发展，金属互连线的宽度不断减小，金属互连线的层数不断增加，原本的纯Cu靶材工艺由于存在电迁移、氧化等问题，已经无法满足当前的需要，所以对于铜合金靶材的需求越来越大。