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提供绝缘耐高温耐磨氧化锆陶瓷环-可靠的氧化锆陶瓷环-别错过砾石实业

2020-12-02  来自: 东莞市砾石实业投资有限公司 浏览次数:133

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东莞市砾石实业投资有限公司是专业生产氧化锆陶瓷环的厂家,公司地处广东省东莞市,由于特殊的地理位置,交通快捷便利,区域优势明显,为产品的进出口贸易提供了有力的保障。东莞市砾石实业投资有限公司成立于2009-08-05,自成立以来,公司凭借丰富氧化锆陶瓷环资源,成为同类产品的佼佼者,并以“价格优廉,服务优异,供货及时”获得业界的好评。

砾石实业本着客户利益为上的企业思想,为客户提供氧化锆陶瓷环等进出口贸易代办代理,凭着多年的氧化锆陶瓷环经营理念,本公司一贯坚持薄利多销、客户至上的宗旨,不断开拓创新,以质取胜,服务周到,以誉满纯贸易业。我们拥有快捷的物流方式,保证产品顺利出货,公司竭诚欢迎海内外新老客户惠顾,不断发展相互之间的真诚合作和贸易关系。

提供绝缘耐高温耐磨氧化锆陶瓷环,靶材的主要性能要求纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度 为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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